掃描電鏡（ScanningElectronMicroscope,簡(jiǎn)寫(xiě)為SEM）是一個(gè)復雜的系統，濃縮了電子光學(xué)技術(shù)、真空技術(shù)、精細機械結構以及現代計算機控制技術(shù)。掃描電鏡主要是針對具有高低差較大、粗糙不平的厚塊試樣進(jìn)行觀(guān)察，因而在設計上突出了景深效果，一般用來(lái)分析斷口以及未經(jīng)人工處理的自然表面。

工作原理：  

掃描電鏡電子槍發(fā)射出來(lái)的電子束，在加速電壓的作用下，經(jīng)過(guò)電磁透鏡系統匯聚，形成一個(gè)細的電子束斑聚焦在樣品表面，末級透鏡上裝有的掃描線(xiàn)圈可控制電子束在樣品表面掃描，同時(shí)高能電子束作用在樣品表面會(huì )激發(fā)出各種信號，主要包括：二次電子、背散射電子、吸收電子、X射線(xiàn)、俄歇電子、陰極熒光和透射電子等，這些信號被相應的接收器接收，經(jīng)放大后送到顯像管的柵極上，調制顯像管的亮度，電子束打到樣品上一點(diǎn)，在顯像管熒光屏上就出現一個(gè)亮點(diǎn)，掃描電鏡就是這樣采用逐點(diǎn)成像的方法，把樣品表面不同的特征，按順序成比例地轉換為視頻信號，從而使我們在熒光屏上觀(guān)察到樣品表面的各種特征圖像。  
 

特點(diǎn)  

（1）能夠直接觀(guān)察樣品表面的結構，樣品的尺寸可大至120mm*80mm*50mm。  

（2）樣品的制備過(guò)程簡(jiǎn)單，不用切成薄片。  

（3）樣品可以在樣品室中作三維空間的平移和旋轉，因此可以從各種角度對樣品進(jìn)行觀(guān)察。  

（4）景深大，圖像富有立體感，可直接觀(guān)察各種試樣凹凸不平表面的細微結構。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍。  

（5）圖像的放大范圍廣，分辨率也比較高?？煞糯笫畮妆兜綆资f(wàn)倍，它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間，可達3nm。  

（6）電子束對樣品的損傷與污染程度較小。  

（7）能夠進(jìn)行動(dòng)態(tài)觀(guān)察（如動(dòng)態(tài)拉伸、壓縮、彎曲、升降溫等）。  

（8）在觀(guān)察形貌的同時(shí)，還可利用從樣品發(fā)出的其他信號做微區成分及晶體學(xué)分析。