鎢燈絲掃描電鏡的總發(fā)射電流和光斑大,抗干擾能力和穩定性好??稍诘驼婵障虏怀潆妼Ψ菍щ姌悠愤M(jìn)行成像,并可用于形貌觀(guān)察、微觀(guān)結構分析,以及斷囗形貌分析。
優(yōu)勢:
1、操作簡(jiǎn)單:設備結構相對簡(jiǎn)單,操作界面友好,易于上手。維護和調試過(guò)程也相對簡(jiǎn)單,減少了操作人員的培訓成本和時(shí)間。
2、適應性強:可以在相對較低的真空度下工作(<10Pa),適用于多種不同類(lèi)型的樣品。
3、應用廣泛廣,成本較低:鎢燈絲掃描電鏡的整體造價(jià)相對較低,適合預算有限的實(shí)驗室或研究機構。維護和保養相對簡(jiǎn)單且費用較低,降低了長(cháng)期運營(yíng)成本。
缺點(diǎn):
1、分辨率有限:雖然鎢燈絲掃描電鏡的分辨率已經(jīng)相對較高,但相比于場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡等設備,其分辨率仍有一定差距。
2、難以滿(mǎn)足對超高分辨圖像的需求,特別是在納米尺度下的精細結構觀(guān)察。
3、發(fā)射效率低:鎢燈絲的總發(fā)射束流雖大,但束流密度小,發(fā)射效率低。這可能導致信噪比較差,影響圖像的清晰度和準確性。